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mems产业进入新阶段 8英寸产能大幅扩充

 发布时间：2020-06-02
随着mems技术的晶圆化.规范化.规模化.尤其是8英寸mems加工技术的成熟和商业化.mems代工将大大推动整个mems产业的发展.成为继cmos代工之后又一个晶圆代工的增长点. 借助于当代先进的大规模集成电路制造工艺 ...<全部>
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